胺类
气体
化工原料
联系我们
| 地 址: | 张家港市杨舍镇扬子路18号 |
| 联系人: | 周经理 |
| 电 话: | 0512-58281880 |
| 传 真: | 0512-58281880 |
三氟化氮
- 质量稳定：实行全过程质量监控，细致入微，全方位检测！
- 价格合理：高效内部成本控制，减少了开支，让利于客户！
- 交货快捷：先进生产流水线，充足的备货，缩短了交货期！
- 电 话：0512-58281880
- 传 真：0512-58281880
- 邮 箱：tony.zhou@snowchem.com.cn
商品详细介绍
A colorless,toxic,nonflammable,oxidizing,high pressure gas.
(一种无色、有毒、不燃、具有氧化性的高压气体)
Formula（分子式）：NF3
Molecular weight(分子量):71.02g/mol
Boiling point(沸点):-73℃-99.4°F
Melting point(熔点)：-168℃-270.4°F
Vapor pressure(蒸汽压):9997KPa（21.1℃）1450Psia(70°F)
Specific volume(比容):0.34m3/kg(21.1℃,101.325KPa）
5.4ft3/lb(70°F,14.696psia)
Threshold Limit Value（人体的最高容许浓度）:10ppm
UN Number(UN号码)：UN2451
DOT Classification(DOT类别):2.2(Nonflammable Gas)(不燃气体)
DOT Lable(DOT标签):Non-flammable gas (不燃气体)
Grsde(级别):4N
Purity(纯度):99.99%
纯度规格
| Impurity(非组分): | Specification(标准） |
| Oxygen(氧): | ≤10.0 ppmv |
| Nitrogen(氮): | ≤10.0 ppmv |
| Carbon Dioxide(二氧化碳): | ≤10.0 ppmv |
| Carbon Tetrafluoride(四氟化碳)： | ≤40.0 ppmv |
| Water(水): | ≤1.0 ppmv |
| Acidity as HF(酸化物，如氟化氢)： | ≤5.0 ppmv |
| Nitrous Oxide（氧化亚氮） | ≤10.0 ppmv |
| 包装 | 容积 | 重量 | 连接阀门 |
| 小钢瓶 | 44L | 20Kg | CGA640 |
应用：等离子刻蚀；硅、氮化硅、钨·硅化合物和钨薄膜的刻蚀；CVD炉室清洗
