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超纯氦

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气体纯度% 气体装量 钢瓶体积/L 阀门型号
超纯氦 N6.0 13MPa 40 CGA580 在半导体制造中用作清洗气、加压气，也用作载气和保护气等。
N6.0 13MPa 47 CGA580
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