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工业六氟化硫

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商品详细介绍

A colorless,nonflammable,liquefied gas.(一种无色、不燃、液化气体)

Formula(分子式):SF6

Molecular weight(分子量):146.05

Boiling point(沸点):-50.8℃,-64.84°F;

Melting point(融点):-63.7℃,-82.66°F.

Vapor Pressure(蒸汽压):2200Kpa(21.1℃);320Psia(70°F)

Specific Volume(比容):0.16m3/kg(21.1℃,101.325KPa)

2.15ft3/lb(70°F,14.696psia)

Threshold Limit Value(人体的最高容许浓度):1000ppm

UN Number(UN号码):UN1080

DOT Classification(DOT类别):2.2(Nonflammable Gas)(不燃气体)

DOT Label(DOT标签):NON-FLAMMABLE GAS(不燃气体)

工业六氟化硫纯度规格 N3.0

Purity(组分): Specification(标准) Result(结果)
SF6(六氟化硫): ≥99.9% >99.9%
Oxygen(氧)+ Nitrogen(氮)+ Carbon Monoxide (一氧化碳): ≤500ppm <380ppm
Carbon Tetrafluoride(四氟化碳): ≤500ppm <350ppm
Water(水): ≤8ppm <4ppm
毒性: 生物实验无毒 生物实验无毒
Impurity(非组分) Specification(标准)
Oxygen(氧)+ Nitrogen(氮)+ Carbon Monoxide(一氧化碳) ≤5 ppmv
Carbon Dioxide(二氧化碳) ≤1 ppmv
Carbon Tetrafluoride(四氟化碳) ≤5 ppmv
Water(水) ≤3 ppmv
Acidity as HF(酸性物,如氟化氢) ≤0.1 ppmv
Cylinder Size(liter)钢瓶体积(升) Content(Kg,lbs)气含量(公斤,磅)
47 50,110

应用:等离子刻蚀

六氟化硫的应用

用作六氟化硫断路器、互导传感器、六氟化硫避雷针的灭弧气体

用作镁铝合金压铸的保护气体

电子级高纯六氟化硫作为一种理想的电子蚀刻气体,广泛应用于微电子技术领域

作为光导纤维制造中的单膜光纤隔离层掺杂剂

作为大气污染监测和水文地质检测领域的示踪剂

肝脏肿瘤的超声造影检查的造影剂也作为六氟化硫的用途

注意事项

六氟化硫应储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。库温不宜超过50℃。应与易(可)燃物、氧化剂分开存放,切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。密闭操作,局部排风。操作人员必须经过专门培训,严格遵守操作规程。建议操作人员佩戴过滤式防毒面具(半面罩)。远离易燃、可燃物。防止气体泄漏到工作场所空气中。避免与氧化剂接触。搬运时轻装轻卸,防止钢瓶及附件破损。配备泄漏应急处理设备。瓶装气体产品为高压充装气体,使用时应经减压降压后方可使用。包装的气瓶上均有使用的年限,凡到期的气瓶必须送往有部门进行安全检验,方能继续使用。每瓶气体在使用到尾气时,应保留瓶内余压在0.5MPa,最小不得低于0.25MPa余压,应将瓶阀关闭,以保证气体质量和使用安全。瓶装气体产品在运输储存、使用时都应分类堆放,严禁可燃气体与助燃气体堆放在一起,不准靠近明火和热源,应做到勿近火、勿沾油腊、勿爆晒、勿重抛、勿撞击,严禁在气瓶身上进行引弧或电弧,严禁野蛮装卸。

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