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超纯氨

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商品详细介绍

A colorless,toxic,flammable,corrosive,liquefied gas.(一种无色,有毒,可燃,具腐蚀性的可液化气体)

Formula(分子式):NH3 

Molecular weight(分子量):17.03g/mol 

Boiling point(沸点):-33.4℃28.1°F

Melting point(熔点):-77.7℃107.9°F

Vapor pressure(蒸汽压):888KPa(21.1℃)129Psia(70°F)

Specific volume(比容):1.41m3/kg(21.1℃,101.325KPa)

22.6ft3/lb(70°F,14.696psia)

Lower Flammable Limit(最低可燃性含量):15% 

Upper Flammable Limit(最高可燃性含量):30% 

Threshold Limit Value(人体的最高容许浓度):25ppm 

DOT Classification(DOT类别):2.2(Flammable Gas)(可燃性气体)

DOT Lable(DOT标签):FLAMMABLE GAS(可燃性气体)

7N超纯氨(Q/320507 LAS03-2011)
项目名称 高纯氮气
氨(NH3)纯度(体积分数)/10-2 99.99999
氢气(H2)含量(体积分数)/10-6 0.01
氧+氩(O2+Ar)含量(体积分数)/10-6 0.01
氮(N2)含量(体积分数)/10-6 0.01
一氧化碳(CO)含量(体积分数)/10-6 0.01
二氧化碳(CO2)含量(体积分数)/10-6 0.01
烃(C1~C3)含量(体积分数)/10-6 0.01
水分(H2O)含量(体积分数)/10-6 0.05
总杂质含量(体积分数)/10-6 0.1
包装 容积 重量 连接阀门
小钢瓶 40L 44L 47L 22Kg CGA660 DISS720
Y瓶 440L 230Kg DISS720(手动)DISS720(气动)
T瓶 930L 480Kg DISS720(手动)

应用:晶圆清洗、在CVD过程中生成氮化硅或氮化镓等薄膜


超纯氨小瓶

氨气小瓶充装台

氨气车间化验室

氨气储罐
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