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高纯氨

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高纯氨主要应用于新型光电子材料领域,是MOCVD技术制备GAN的重要基础材料。由GAN生产高灵敏度蓝光发光二级管和蓝光激光器,以及其它相关电子器件,是国内外都在抢占的产业。高纯氨还是制备三氟化氮、氮化硅、的基础材料,是生产超高级氮的原料气。此外,液氨广泛地应用于半导体工业、冶金工业,以及需要保护气氛的其他工业和科学研究中。

商品详细介绍

A colorless,toxic,flammable,corrosive,liquefied gas.(一种无色,有毒,可燃,具腐蚀性的可液化气体)

Formula(分子式):NH3 

Molecular weight(分子量):17.03g/mol 

Boiling point(沸点):-33.4℃28.1°F

Melting point(熔点):-77.7℃107.9°F

Vapor pressure(蒸汽压):888KPa(21.1℃)129Psia(70°F)

Specific volume(比容):1.41m3/kg(21.1℃,101.325KPa)

22.6ft3/lb(70°F,14.696psia)

Lower Flammable Limit(最低可燃性含量):15% 

Upper Flammable Limit(最高可燃性含量):30% 

Threshold Limit Value(人体的最高容许浓度):25ppm 

DOT Classification(DOT类别):2.2(Flammable Gas)(可燃性气体)

DOT Lable(DOT标签):FLAMMABLE GAS(可燃性气体)

电子工业用气体 氨(GB/T14601-2009)
项目名称 电子级 光电子级
氨(NH3)纯度(体积分数)/10-2 99.9995 99.99994
氧(O2)含量(体积分数)/10-6 1 0.1
氮(N2)含量(体积分数)/10-6 1
氢(H2)含量(体积分数)/10-6 0.1
一氧化碳(CO)含量(体积分数)/10-6 1 0.05
二氧化碳(CO2)含量(体积分数)/10-6 0.1
烃(C1~C3)含量(体积分数)/10-6 1 0.05
水分(H2O)含量(体积分数)/10-6 3 0.2
总杂质含量(体积分数)/10-6 5 0.6
包装 容积 重量 连接阀门
小钢瓶 40L 44L 47L 22Kg CGA660 DISS720
Y瓶 440L 230Kg DISS720(手动)DISS720(气动)
T瓶 930L 480Kg DISS720(手动)

应用:晶圆清洗、在CVD过程中生成氮化硅或氮化镓等薄膜

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