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高纯氨
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高纯氨主要应用于新型光电子材料领域,是MOCVD技术制备GAN的重要基础材料。由GAN生产高灵敏度蓝光发光二级管和蓝光激光器,以及其它相关电子器件,是国内外都在抢占的产业。高纯氨还是制备三氟化氮、氮化硅、的基础材料,是生产超高级氮的原料气。此外,液氨广泛地应用于半导体工业、冶金工业,以及需要保护气氛的其他工业和科学研究中。


商品详细介绍
A colorless,toxic,flammable,corrosive,liquefied gas.(一种无色,有毒,可燃,具腐蚀性的可液化气体)
Formula(分子式):NH3
Molecular weight(分子量):17.03g/mol
Boiling point(沸点):-33.4℃28.1°F
Melting point(熔点):-77.7℃107.9°F
Vapor pressure(蒸汽压):888KPa(21.1℃)129Psia(70°F)
Specific volume(比容):1.41m3/kg(21.1℃,101.325KPa)
22.6ft3/lb(70°F,14.696psia)
Lower Flammable Limit(最低可燃性含量):15%
Upper Flammable Limit(最高可燃性含量):30%
Threshold Limit Value(人体的最高容许浓度):25ppm
DOT Classification(DOT类别):2.2(Flammable Gas)(可燃性气体)
DOT Lable(DOT标签):FLAMMABLE GAS(可燃性气体)
电子工业用气体 氨(GB/T14601-2009) | ||
项目名称 | 电子级 | 光电子级 |
氨(NH3)纯度(体积分数)/10-2 ≥ | 99.9995 | 99.99994 |
氧(O2)含量(体积分数)/10-6 < | 1 | 0.1 |
氮(N2)含量(体积分数)/10-6 < | 1 | — |
氢(H2)含量(体积分数)/10-6 < | — | 0.1 |
一氧化碳(CO)含量(体积分数)/10-6 < | 1 | 0.05 |
二氧化碳(CO2)含量(体积分数)/10-6 < | — | 0.1 |
烃(C1~C3)含量(体积分数)/10-6 < | 1 | 0.05 |
水分(H2O)含量(体积分数)/10-6 < | 3 | 0.2 |
总杂质含量(体积分数)/10-6 ≤ | 5 | 0.6 |
包装 | 容积 | 重量 | 连接阀门 |
小钢瓶 | 40L 44L 47L | 22Kg | CGA660 DISS720 |
Y瓶 | 440L | 230Kg | DISS720(手动)DISS720(气动) |
T瓶 | 930L | 480Kg | DISS720(手动) |
应用:晶圆清洗、在CVD过程中生成氮化硅或氮化镓等薄膜
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